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VACUUM2024真空展/半導体製造、省エネ後押し (2024/9/19 機械・ロボット・航空機1)

住友重機械工業も半導体製造関連向けに、スパッタリングやイオン注入装置用に気体をため込んで排気するクライオポンプを訴求する。... 芝浦メカトロニクスは電子部品用スパッタリング装置をパネルで紹介。......

現地に学び顧客接点深める 2023年と24年はスパッタリング装置が好調だ。... スパッタリング市場では、米アプライドマテリアルズが大きなシェアを持っているが、我...

VACUUM2024真空展/紙上プレビュー(上) (2024/8/26 機械・ロボット・航空機2)

9月18―20日に東京都江東区の東京ビッグサイトで真空機器・真空装置の総合展示会「VACUUM2024真空展」が開催される。... 【芝浦メカトロニクス/独自スパッタ源・高速搬送】 ...

展望2024/東ソー社長・桑田守氏 汎用品、東南アで地産地消 (2024/1/23 素材・建設・環境・エネルギー2)

スパッタリング装置と一緒に提案する。

半導体研究向け拡販 【千葉】ユーパテンター(千葉県船橋市、本多祐二社長)は、山口県産業技術センターと、単結晶に近い窒化アルミニウム(AlN)を、ステン...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(4) (2023/11/1 機械・ロボット・航空機1)

【キヤノンアネルバ/半導体製造装置向け真空計】 キヤノンアネルバ(川崎市麻生区)は、半導体やソーラーパネル製造装置の真空チャンバー内の圧力を高精度に測る真空...

非鉄金属、需要家の動向把握 フルヤ金属は、数ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の極微細な電子材料粒子に金属薄膜を施す粉末スパッタリン...

強い磁力を使い非接触で歯車を回転させるため「真空中での利用が多く半導体のスパッタリング装置などで使われていた。

YKK AP、低放射ガラス増産 富山・滑川に新棟、来年稼働 (2023/1/25 建設・生活・環境・エネルギー1)

ガラス加工設備としてガラス表面に金属の薄膜を施すスパッタリング装置を導入する。

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(4) (2022/10/10 機械・ロボット・航空機)

【オプトラン/スマホ向けALD装置紹介】 オプトランはスマートフォンや発光ダイオード(LED)向けで採用が進む原子層堆積(ALD...

【神戸】神港精機(神戸市西区、真下忠社長)は、高硬度な被膜を実現できるスパッタリング装置を開発した。... 緻密で平滑な成膜を実現するスパッタリングでは一般的に高価な専用パルス電源を使...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(5) (2021/12/1 機械・ロボット・航空機1)

薄膜コーティング装置向けに特化した。... 高速スパッタリング装置なども展示する。 ... モジュールを組み合わせて、真空蒸着装置など真空装置やポンプ内の解析、表...

これまでサンプルワーク向けのフィルムを試作専用機で製造してきたが、量産に向けて栃木事業所の既存のスパッタリング装置3台のうち1台に新たに真空蒸着機能を追加。

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(4) (2020/10/22 機械・ロボット・航空機1)

芝浦メカトロニクス/5G電子部品の薄膜形成向け装置 芝浦メカトロニクスは第5世代通信(5G)時代の電子部品の薄膜形成向けスパッタリング装置を紹介。

JCU、中国子会社を清算 (2020/4/21 総合3)

10年に設立し、スパッタリング装置によるカラーリング事業を行っている。

スパッタリング装置やドライエッチング装置、ナノインプリント装置、電子顕微鏡などを設置。... またクラス10000のクリーンルームを備える「NANOBIC」のオープンラボも利用できるため、自社の機械・...

芝浦メカトロ、6層対応可能なスパッタリング装置 (2019/11/8 電機・電子部品・情報・通信1)

芝浦メカトロニクスは、最大6層まで積層成膜可能な高速・多層枚葉式スパッタリング装置「BM―900」シリーズを開発した。... CD・DVD用のスパッタリング装置で培った高速成膜技術・装置の小型設計と、...

芝浦メカトロニクスは、電磁波シールド用スパッタリング装置「CCS―2110」を開発した。... 開発したスパッタリング装置は、高周波対策向けに磁性体を使った独自開発の新材料と金属を交互に10層積層した...

そのパワーICにはスパッタリング装置とイオン注入装置が用いられ、大容量コンデンサーには巻き取り式真空成膜装置が使用されている。

2019真空展/紙上プレビュー(下)芝浦メカトロニクスほか (2019/8/29 機械・ロボット・航空機1)

【芝浦メカトロニクス/光学・車部品向け装置を紹介】 芝浦メカトロニクスは光学・自動車部品向けのスパッタリング装置をパネルと模型で紹介する。電子・光学部品向けには低温多層積層...

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