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記事検索結果
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セラミックヒーターやヒーターを内蔵した静電チャックは、主に化学気相成長(CVD)装置などの成膜工程で使われる。2―3度Cの違いで膜厚に影響が出るため、均熱性に対する要求レベルは高い。&...
開発したフィルム型有機光センサーは、有機半導体層の材料最適化と成膜工程の改良を施し、光検出効率80%以上を実現した。
半導体製造の成膜工程は、治具にも成膜してしまう。治具に残った成膜は、膜厚の制御に影響するため洗浄が不可欠だ。
受注した精密塗工システムは、フレキシブル有機ELの基板となるポリイミド樹脂の成膜工程を担う。... 後工程でその上にフレキシブル有機EL層を形成する。最終工程でガラス基板から剥離すると、フィルム基板の...
生産部門では、主に半導体前工程のウエハー熱処理成膜工程に使われる火加工品の治具、消耗材を製造する。
【相模原】昭和真空と山形大学の城戸研究室(城戸淳二卓越研究教授)は、有機ELの成膜工程で高精度に膜厚を計測する「有機EL用水晶式膜厚計」を開発した。... 成膜装置に装着し、有機ELパ...
折り畳み型スマートフォンの実用化をにらみ、ディスプレーガラスに代替する透明ポリイミドフィルム原料「エネハイドCpODA」を製品化したのに続き、プリント基板などで塗布による成膜を実現する可溶性ポリイミド...
特許と国際標準化の推進をオープンな知財とすれば、IoT(モノのインターネット)技術を活用した国内3工場のDLC成膜工程の常時監視などは「クローズドな知財」(平塚傑工取締役...
【千葉】ナノテック(千葉県柏市、中森秀樹社長、04・7135・6111)は、IoT(モノのインターネット)技術を活用し、国内3工場のダイヤモンド・ライク・カーボン...
日本板硝子は8日、化学気相成長(CVD)技術を使い、ガラス製造工程中(オンライン)に、厚さ0・7ミリメートルの薄板ガラス上に透明な導電性金属酸化物膜をつくることに成功し...
新設した今井工場(同青梅市)などの設備を増強し、半導体製造のエッチング工程や成膜工程で使うクーリングプレート、電極を増産する。
ディスプレーへの映り込みを抑え、操作時の指紋をつきにくくする光学成膜工程も採用につながった。
17年1月には、宇部工場(山口県宇部市)に成膜工程で使う六フッ化タングステン(WF6)の新プラントも新設する。
セントラル硝子は7日、半導体製造の成膜工程で使われる六フッ化タングステン(WF6)の生産能力を従来比30―40%引き上げると発表した。
【横浜】東京エレクトロンデバイスは15日、スミックス(相模原市中央区、宇田満社長、042・713・3733)と液晶パネルなどの成膜工程で発生するムラを自動で検査するモジュールを共同開発...
成膜工程の短期化と低コスト化も図れる。... ロール・ツー・ロール方式は、ロールに巻いた樹脂フィルムなどの長尺の被成膜物を送り出して成膜し、その後、被印刷物を別のロールで再び巻き取る。... 現在、成...
三菱マテリアルは従来の4倍の速度で成膜が可能なチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電膜用ゾルゲル液を開発した。... 圧電MEMSデバイスの成膜では、一定の圧電特性を得るために数10ナノメ...
開発したプロセスはニッケル(Ni)成膜後、真空状態を保ったまま「スズ(Sn)―銀(Ag)―銅(Cu)」の厚さ0・5マイクロメートルの鉛フ...
日本製鋼所は射出成形機と成膜装置を一体化したシステムを出展。成形品の成膜工程は別工場などの離れた場所で行われるケースが多いが、新システムは1ライン上で対応し、品質や効率を向上する。
