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記事検索結果
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アルバックは25日、圧電材料となるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の薄膜を微小電気機械システム(MEMS)に、500度C以下の低温で形成できるスパッタリング技術を開発した...
スパッタリング装置などの製造装置内で、これらの部品・部材が実際に目標の温度で製造されているかどうかを確かめられる。 ... 装置には内部の温度を測定する機器が取り付けられていることが...
真空装置のメーンの出荷先である半導体製造装置の設備投資が回復したことが背景にある。... 芝浦メカトロニクスは、後酸化方式を採用し、低温で樹脂にも成膜できる光学部品用スパッタリング装置をデジタル機器分...
【芝浦メカトロニクス/後酸化方式のスパッタ装置】 芝浦メカトロニクスは光学薄膜向けスパッタリング装置や研究開発向けスパッタリング装置を紹介する。光学薄膜向けスパッタリング装...
半導体製造装置などで広く採用されている光電センサー型で発生する曇りや不純物で停止する弱点を解消した。 ... 真空装置に一定流量のガスを注入する機械で、多種のガスに対応し、高精度で制...
コーティング処理には英パワービジョンが眼鏡レンズの反射防止処理用に開発したマグネトロン・スパッタリング装置を利用した。
ドライコーティングの一つであるスパッタリング技術を応用したITOフィルムは93年に事業化。... ITOフィルムに必要なスパッタリング装置でも、目先の効率に惑わされずに決して専用設備とはしていない。
電子部品などの基板の回路形成に必要なスパッタリング装置向けで、独自技術によりポンプの回転速度を向上させて小型化を実現した。 ... 真空ポンプなど真空製品の約半分が半導体製造装置向け...
【芝浦メカトロニクス/スパッタリング研究開発用装置】 芝浦メカトロニクスは、研究開発用スパッタリング装置や低温成膜スパッタリング装置を紹介する。
成膜するスパッタリング装置やレーザー蒸着装置をそれぞれ2、3台順次導入し、同線材をコイル化する企業向けに納入する計画だ。
今後は中部大学の協力のもと同装置を使ったカーボン薄膜製膜プロセスに関する知見を深め、装置発売に備える計画だ。 ... 「装置メーカー単体では得るのが難しい情報を得られた」(竹...
そのため10億円弱を投じ、京都事業場(京都市南区)にスパッタリング設備の新鋭機を導入し、7月から稼働する。... 同社は2011年末にもスパッタリング装置を増強しており、タッチパネル需...
【奈良】ヒラノテクシードはITO(酸化インジウムスズ)成膜用の真空スパッタリング装置の生産能力を増強する。... 12年12月末時点の真空スパッタリング装置の受注残は、前年同期比3倍以...
半導体製造装置メーカーが立体構造(3D)半導体に対応した製造装置の開発を加速する。... アルバックはスパッタリング装置を新たに開発したほか、東京エレクトロンは米国の関連装置メーカーを...
【入江工研/TFT・OLED製造装置向け】 入江工研の大型薄膜トランジスタ(TFT)・OLED製造装置向け高真空ゲートバルブは、気密性と逆圧耐性に優れる。....
スパッタリング装置や真空成膜装置も手がける。 ... 【佐藤真空/最高350度Cで研究用途にも】 佐藤真空の真空乾燥装置「DS―40P...
【芝浦メカトロニクス/用途に応じた成膜装置】 R&D用スパッタリング装置「i―Miller」を出展する。... 同時に出展する高速枚葉スパッタリング装置「BMシリー...
【横浜】昭和真空は低温で成膜できる発光ダイオード(LED)デバイス用スパッタリング装置(写真)を開発、発売した。... 材料ロスの多い真空蒸着装置や高温スパッタリング装...
開発した「多角バレルプラズマCVD法」は、阿部教授らの多角バレルスパッタリング装置にユーテックがプラズマの技術を加えて改造し、成膜装置を完成した。
顧客先のニーズをくみ取りシステム全体の設計するとともに、周辺装置メーカーなど他社との協業を進める。 ... スカラ型ロボで容器本体に菓子を入れるのと同時に、フタをスパッタリング装置で...
