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記事検索結果
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るつぼ内でSiCウエハーとケイ素蒸気の熱化学反応を起こし、ウエハー表面を滑らかにする。従来のウエハー表面を機械的に研磨加工する手法と比べ、より滑らかに仕上げられる。 Si蒸気圧エッチ...
従来の大口径ウエハーではなく直径12・5ミリメートルの小型ウエハーを1個ずつ加工する。完全密閉構造のシャトルと呼ばれる専用ケースにウエハーを入れ、工程順に並べた装置にシャトルを置くだけで必要な処理が行...
今年1月には小牧事業所(愛知県小牧市)に整備していた「表面弾性波(SAW)フィルター用ウエハー」の量産設備が稼働を始めた。... 中長期的には次世代のパワー半導体などに...
ナノインプリント露光装置は、光を使って回路パターンをウエハーに形成する既存技術とは、まったく別の技術。
「(センサーやアナログ半導体などの)コモディティー(汎用品)市場も伸びる見通しで、顧客からは工場に設置済みの200ミリメートルウエハー向け装置の生産効率を高め、延命させ...
大手半導体メーカーが次世代メモリーに採用したことを追い風に、鹿沼事業所(栃木県鹿沼市)の生産能力を2016年度に直径300ミリメートル(12インチ)ウエハー換算で年間3...
自動車工場用の溶接ロボットや半導体ウエハー搬送ロボットなどを生産し、近年のロボット需要拡大に伴い稼働率が上がっている。
その間に現在の歯車機械、工具だけでない次の柱を立てる」 ―経営の重点テーマに、全工程にわたる製造設備を提供する「トータルソリューション」、精密切削やウエハー接合の「微細加工ソリューシ...
東京エレクトロンは、世代の一つ古い200ミリメートルウエハー向け半導体製造装置に対するアフターサービス事業の本格展開に乗り出す。... その中で200ミリメートルウエハー向けサービスを重要分野に位置付...
データセンターやスマートフォン向けに300ミリメートルウエハーの需要がけん引すると予測、各社は早い段階で高稼働に入ると期待する。 ... 300ミリメートルウエハーが順調に伸びたが、...
最新のEUV露光装置が持つ80ワット光源のスループット(1時間当たりのウエハー処理枚数)を前提に、フォトレジストの感度や品質を検討。
従来の大口径ウエハーではなく直径12・5ミリメートル(0・5インチ)の小型ウエハーを1個ずつ加工する。
また300ミリメートルウエハーで毎時270枚以上(従来機は同250枚)の処理を可能にした。
データセンターで使われるSSD(ソリッドステートドライブ)向け需要が伸びたほか、スマートフォンの高機能化で搭載数が増えるメモリー向けも堅調で最先端の300ミリメートルウエハーが収益をけ...
微細化が進む半導体のプラズマエッチング加工装置の中で、ウエハーを支える治具「リング」の需要増に応える。
富士電機は産総研との共同研究で150ミリメートルウエハーのデバイス技術と量産化技術を開発し、これを用いたSiCパワー半導体の製造ラインを13年に稼働し始めた。
