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三井化学、“次世代EUVペリクル”25年にも実用化 半導体微細化に対応
(2023/12/15 05:00)
三井化学は２０２５―３０年に、半導体の製造工程で使われる次世代の極端紫外線（ＥＵＶ）ペリクルを実用化...
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(2023/12/15 05:00)
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