記事検索結果

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(2) （2023/10/26 機械・ロボット・航空機１）

【シンクロン/ALD法など高難度成膜技術】シンクロン(横浜市西区)は、蒸着とスパッタの両方式の進化に技術力で貢献し、真空薄膜の可能性を広げてきた。現在は未...

アズビル、サファイア隔膜真空計に新モデル MEMS技術でデポ対策強化（2023/1/26 機械・ロボット・航空機２）

原子層堆積(ALD)装置においてプロセスガスの変更による高温環境での使用にも対応可能にした。

VACUUM2022真空展/紙上プレビュー(4) （2022/10/10 機械・ロボット・航空機）

【オプトラン/スマホ向けALD装置紹介】オプトランはスマートフォンや発光ダイオード(LED)向けで採用が進む原子層堆積(ALD...

サムコ、低温成膜を実現したプラズマ原子層堆積装置開発（2022/10/3 総合４）

電子デバイス研究開発用、窒化・金属膜など対応【京都】サムコは化合物半導体など幅広い電子デバイスでの成膜に対応した原子層堆積(ALD)装置を開発し...

VACUUM2021真空展/紙上プレビュー(2) （2021/11/9 機械・ロボット・航空機１）

オプトラン/スマホ向け原子層堆積装置オプトランはスマートフォンやミニ・マイクロLED(発光ダイオード)向けの原子層堆積...

表面改質展2020 ONLINE/注目の製品・サービス(1) （2020/10/27 機械・ロボット・航空機１）

米FORGE NANO/粉体に利用できる原子層堆積技術米FORGE NANO(コロラド州)は、粉体に利用可能な薄膜コーティングの原子層堆積...

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(5) （2020/10/23 機械・航空機）

オプトラン/プラ基板に光学多層成膜オプトランはプラスチック基板への光学多層成膜が可能なプラズマ原子層堆積(ALD)装置「ALDER―800P=写真...

明電舎、ALD成膜を実用レベルに RTRフィルム装置導入（2019/10/3 電機・電子部品・情報・通信１）

明電舎は、オゾンとエチレンガスによる原子層堆積(ALD)でフィルムに成膜したサンプルの大きさを、実用レベルに引き上げる。

明電舎、ALD成膜技術を開発（2019/5/23 電機・電子部品・情報・通信２）

明電舎は、極薄フィルムなどに原子レベルの膜を積層する原子層堆積(ALD)成膜技術を開発した(写真)。... 酸化アルミニウム単層膜で膜厚40ナノメートル、水蒸気透過性は...

フジキン、IGS用バルブ開発開閉耐久性80%向上（2018/6/19 機械・ロボット・航空機２）

半導体製造プロセスは、原子層レベルで成膜する原子層堆積(ALD)が主流になり、メモリーの多層化なども加速している。

設計・開発フロンティア/菅製作所−卓上型ALD装置（2017/1/24 モノづくり）

粉体に成膜加工できる装置などを卓上型原子層堆積(ALD)装置「SAL1000シリーズ」として、2016年12月に発売した。 ALD装置は半導体用シリコンウエハーなどの...

菅製作所、卓上型原子層堆積装置を投入−粉体に成膜加工（2016/12/5 機械・ロボット・航空機１）

菅製作所(北海道北斗市、菅育正社長、050・3734・0730)は、粉体に成膜加工できる装置などを卓上型原子層堆積(ALD)装置「SAL1000シリーズ」として発売した...

昭和真空、反射防止膜を均等成膜できる光学薄膜形成装置を開発−複雑形状レンズ対応（2016/6/28 機械・ロボット・航空機１）

3次元積層した半導体の貫通電極を作成する際に利用する原子層堆積(ALD)をレンズにも応用した。... 同装置は真空層に二酸化ケイ素などの原料ガスとレンズ基板を入れ、プラズマを放射し成膜...

サムコ、パワー半導体向けALD装置を開発・販売−大型化も視野（2015/12/3 電機・電子部品・情報・通信１）

炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)を使ったパワー半導体のゲート酸化膜形成用に、原子層堆積(ALD)装置を開発し発売した。... ALD装置は1...